Dickenmessung an Folien

"Florian Rist" schrieb im Newsbeitrag news: snipped-for-privacy@4ax.com...

Die Diskussion ist zwar schon ziemlich fortgeschritten, aber schau dir doch mal das Referat zum Thema Ellipsometrie an :

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funktioniert auch bei halbtransparenten Schichten ünd möglicherweise relativ unabhängig von der Oberfläche. Das Thema wird eher sein, ob es eine ausreichend langwellige Lichtquelle gibt, mit der man die Messung hier durchführen kann.

Grüße Günter

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"Günter Schütz"
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Man kann auch einen geeigneten Chip nehmen:

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TUHH

Hallo TUHH

Danke. Sieht ja gut aus. Ich hatte mich schon nach Chips für die Auswertung von Feuchtesensoren umgeschaut, die passen aber nicht so gut, weil die Feuchtesensoren Kapazitäten um die 100pF haben und so viel Sensorfläche kann ich nicht brauchen.

Grüße Flo

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Florian Rist

Am Wed, 19 Oct 2005 19:58:42 +0200 schrieb Florian Rist:

Einen wirklich ernst gemeinten Tipp habe ich noch: Was ist mit einer pneumatischen Messung? Druckunterschiede an einer Düse durch wechselnden Abstand (Dickenänderungen) lassen sich sehr genau (kleiner 1/1000mm) messen. Im einfachsten Fall liest man das einfach an einer schwankenden Wassersäule ab. Vorteil: Keine Elektronik Keine Materialabhängigkeit Es lassen sich sehr viele Messtellen realisieren Nachteil: Nicht allzu schnell Ohne den Rat eines erfahren Lehrenbauers kommst du da nicht weit.

Grundlegende Informationen wie das geht bekommst du bei den traditionellen Messgeräte-Herstellern wie Mahr, Tesa, Zeiss etc.

Mit freundlichen Grüßen Peter Nießen

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Peter Niessen

Hallo Peter

Interessante Idee da wär ich nie draufgekommen. Danke. Aber leider brau ich dann ja ein Loch in der Folie. Löcher sind nicht erlaubt. :-)

Ich hab jetzt mal den Chip von Alalog Devices bestellt. Mal sehen...

Grüße Flo

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Florian Rist

"Florian Rist" schrieb im Newsbeitrag news: snipped-for-privacy@4ax.com...

Ich denke, das Thema ist der Abstand der Düse von der Folie und damit eine virtuelle Veränderung des wirksamen Düsenquerschnitts. Da war nicht von einem Loch in der Folie die Rede.

Grüße Günter

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"Günter Schütz"

Am Fri, 28 Oct 2005 07:54:05 +0200 schrieb ?Iso-8859-1?Q?=FCnter_Sch=FCtz?=:

Genau! Ein Loch braucht es nicht. Strömung heisst das Zauberwort. Und in der Tat werden damit hochgenaue Messungen durchgeführt. Der Klassiker ist das vermessen von Werzeugkegeln auf 1/10000mm (Kein Schreibfehler geht wirklich!). Und ein Loch kommt da bestimmt nicht rein.

Mit freundlichen Grüßen Peter Nießen

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Peter Niessen

Hallo Peter N

Ja, schon, also ich kenn das Messverfahren nicht aber im Prinzip gibt's misst man einen Staudruck, oder? Z.B. den Druck kurz vor einer Düse vor der die Probe positioniert ist. Der Druck hängt dann vom Abstand wischen Düse und Werkstück ab. Wenn ich das Prinzip so richtig verstanden hab, dann braucht's einen Art Gegenhalter in konstanten Abstand von der Düse und genau den gibt's bei meinem Messproblem nicht, sonst könnt ich auch eine Mikrometerschraube nehmen.

Vielleicht könntest Du das Prinzip (bei den Kegeln) kurz erläutern, würde mich interessieren.

Grüße Flo

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Florian Rist

Moin,

Florian Rist hat geschrieben:

Staudruck? Eher nicht.

Ja, genau den Druck.

Die Düse wird einerseits durch das Gerät und andererseits durch das Objekt gebildet:

| X | | | | \ | | | Meßkopf \ | | | / \_____/ V \____/ Spalt _____________________________ Objekt

"< > V" zeigen die Pfeile der Gasströmung an. Es ergibt sich also ein Spalt zwischen Meßkopf und Objekt dessen Breite den Strömungswiderstand beeinflußt. An der Stelle "X" wird der Druck gemessen, der Gas-Volumenstrom muß anderweitig gemessen werden.

In der Tat. Die Gegenseite kann ja auch ein ähnlicher Meßkopf sein. Je länger der Spalt ist, desto größer sollte IMO der Meßbereich sein weil man dann auch einen breiteren Spalt realisieren kann. Egal wie, wenn du eine Foliendicke mit einem meterlangem Arm messen mußt, hilft dir das wohl nicht weiter.

CU Rollo

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Roland Damm

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